Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом (серия ALD20)

Клапаны Swagelok серии ALD20 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают более высокую пропускную способность, чем другие клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD), позволяя пользователям экспериментировать с газовыми прекурсорами с низким давлением парообразования в техпроцессах ALD. Клапан ALD20 обеспечивает надежность и производительность, которые клиенты ожидают от клапанов Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD), а также недоступные ранее температурную стабильность и значения расхода. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологий сегодня и в будущем.