Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты (серии ALD3 и ALD6)

Мембранные клапаны Swagelok серий ALD3 и ALD6 имеют сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания и коэффициенты расхода до 0,62, позволяя производителям полупроводников достигать контролируемого дозирования, необходимого для полупроводникового производства с атомно-слоевым осаждением. Конструкция клапанов серий ALD3 и ALD6 сверхвысокой степени чистоты позволяет производителям полупроводников выполнять стабильное, высокоскоростное дозирование газовых прекурсоров, необходимое для послойного наращивания микросхем в камерах осаждения. Данные высокоэффективные клапаны сверхвысокой степени чистоты обеспечивают: сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; коэффициенты расхода от 0,27 до 0,62; также предлагаются заказные коэффициенты расхода; работу с полным погружением при температуре до 392 °F (200 °C) с опциональными термостойкими приводами; пригодность для применения в сверхчистых системах со стандартными корпусами клапанов из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; модульные соединения для монтажа на поверхность, соединения под приварку встык и торцевые соединения Swagelok VCR®; вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода.